10月8日晚，联合化学（301209.SZ）发布公告，公司拟与聚源创投、深圳华控、正和创投、常州霜叶、苏州创景、创展实业、天护一号等多家机构共同向参股公司上海米莱芯程半导体有限公司（以下简称“米莱芯程”）增资，本次增资总金额为3.61亿元。米莱芯程投前估值15亿元，投后估值约18.61亿元，联合化学持有米莱芯程的股权比例由37.2760%被动稀释至33.2692%。
产业资本入局，加码光刻机核心赛道
中芯聚源旗下聚源创投出资5000万元参与本轮米莱芯程的增资。据悉，中芯聚源是中芯国际旗下的产业投资平台，长期专注于半导体产业链投资。与此同时，多家具有产业背景的机构同步入局，深圳华控由京东云计算旗下京东科技信息技术有限公司等共同出资；正和创投与联合化学并列为本轮最大出资方。
产业资本密集入局的背后，是光刻机国产替代的迫切现实。光刻环节是全球半导体设备中壁垒最高、国产化率最低的领域，ASML在全球光刻机市场份额约95%，日本佳能、尼康合计约5%。据行业统计，2025年中国光刻机市场规模预计突破150亿元，年增速约15%。而光刻机整机国产化率仍不足5%。RAND Corporation在研究报告中预测，中国2026年实现DUV光刻机量产目标的概率约为25%，技术壁垒与供应链限制仍是核心制约因素。
联合化学累计出资3.8亿元，坚定布局半导体关键设备
联合化学此前已两次增资米莱芯程。2025年7月，公司出资1.2亿元，按投前估值5亿元认购新增注册资本，持股比例19.3548%；2025年11月，公司追加2亿元，按投前估值7亿元增资，持股比例提升至37.2760%。加上本次6000万元出资，联合化学对米莱芯程的累计出资额已达3.8亿元。由于本轮其他投资方进入，联合化学持股比例由37.2760%被动稀释至33.2692%，仍为米莱芯程重要股东。
联合化学在公告中表示，本次增资是为了支持米莱芯程的长期发展，满足其日常生产经营周转的资金需求，基于长远持续发展的战略规划、把握国内精密光学行业和半导体投影式曝光机行业的良好发展机遇。公司投资米莱芯程系转型升级战略的新落脚点，有利于构建从“传统制造”向“科技驱动”型公司转变的新发展模式。
米莱芯程首套光学系统已完成交付，目前仍处于攻坚关键阶段
米莱芯程成立于2025年3月，主要从事投影式曝光机的研发，产品主要应用于半导体晶圆制造的光刻步骤。其全资子公司上海芯颐和科技有限公司聚焦投影式曝光机光学部件的研发、生产和销售。公司核心研发团队由具备KrF及i-line光刻机整机研发经验的技术骨干组成，员工约350人，其中硕士及以上学历占比约47%，是国内民营光刻机企业中少数拥有成建制正向研发队伍的团队之一。米莱芯程已构建覆盖光刻机16个核心子系统的自研能力。2026年6月30日，米莱芯程子公司芯颐和自主研发的首套i-line照明系统与投影物镜已发运交付国内头部光刻机厂商，成为国内首次由非整机厂企业完成曝光光学系统成套交付。在9月初的无锡第十四届半导体设备材料及核心部件展上，米莱芯程携i-line光刻机亮相并荣获核心部件类二等奖。
公告披露的财务数据显示，米莱芯程2025年度经审计营业收入为4048.43万元，净利润为-7184.13万元；2026年上半年未经审计营业收入为801.49万元，净利润为-6159.06万元。截至2026年6月30日，米莱芯程资产总额3.37亿元，净资产1.82亿元。公司目前处于前期投入与研发攻关阶段，预计将在未来一定期间内持续保持较高强度的研发投入。
联合化学在公告中同时提示本次投资资金来源为自有资金和自筹资金，预计不会对公司2026年度财务状况和经营成果造成重大影响，但对未来财务状况和经营成果的影响需视米莱芯程的研发进展和实际经营情况而定。本次交易构成关联交易，尚需提交公司股东会进一步审议。（金禾）
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